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GLO(LLO 대체기술)
GLO (LLO 대체기술)
GLO(LLO 대체기술)이란? GLO(Graphene Lift-Off)는 Flexible OLED 제조 시 유리 기판(Carrier Glass)과 폴리이미드(Polyimide) 사이에 박막 분리용 그래핀을 전사, 다공성 진공 흡착 방식을 이용하여 유리 기판(Carrier Glass)과 폴리이미드(Polyimide)를 분리하는 공정을 뜻함 기존 LLO(Laser Lift-Off) 공정과의 차이점 레이저를 이용해 절연막을 제거하는 기존 LLO(Laser Lift-Off) 공정은 레이저 소스를 해외에서 공급 받음에 따른 높은 유지 관리 비용, Ablation(삭마) 때 생기는 그을음에 따른 변색 문제, 고가의 레이저 장비 사용에 따른 비용 문제 등의 단점이 있음 이와 달리 GLO(Graphene Lift-Off)는 장비 공정상 유지 관리 비용 감소, 물리적 힘으로 분리 시키므로 완성된 OLED 패널에 영향을 주지 않기에 높은 공정 수율 기대, 초기 설비 투자 비용 대폭 감소
LLO
  • 높은 유지 관리 비용
  • Ablation(삭마)시 변색 발생
  • 고가의 레이저 장비 사용
GLO
  • 유지 관리 비용 감소
  • 물리적 분리 OLED패널 영향無
  • 초기 설비 투자비용 대폭 감소
  • 정전기 감소효과
LLO
  • 높은 유지 관리 비용
  • Ablation(삭마)시 변색 발생
  • 고가의 레이저 장비 사용
GLO
  • 유지 관리 비용 감소
  • 물리적 분리 OLED패널 영향無
  • 초기 설비 투자비용 대폭 감소
  • 정전기 감소효과

  • PI Printing

  • TFT Backplane Process

  • Plasma treatment

  • OLED Process

  • Encapsulation

  • Glass detach

Easy removal if graphene is coated Graphene residue only on glass substrates

OLED test result